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净化地坪材料应以平整光滑、耐磨、耐冲击、易清洁、整体性好、无裂缝、承载力适当、防静电等为选择标准。洁净车间(洁净室)的地面也要求防潮。主要防潮措施:在地面混凝土基层下设置防潮层-膜隔离层,采用架空地面。地板表面材料:1)非弹性表面材料水磨石。2)涂层表面材料-a膜型:丙烯酸、环氧、聚氨酯等;B自流平:环氧自流平。3)弹性饰面材料-PVC块或表面材料(PVC塑料地板)。